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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
帶偏壓雙靶磁控鍍膜儀可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜，該帶偏壓雙靶磁控鍍膜儀添加偏壓電場，增強(qiáng)離子的能量，提高成膜質(zhì)量和薄膜的附著力
詳情介紹：
帶偏壓雙靶磁控鍍膜儀
我公司研發(fā)的配有兩個(gè)靶位的小型實(shí)驗(yàn)室用鍍膜儀，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等。磁控濺射相較于普通的等離子濺射擁有能量高速度快的優(yōu)點(diǎn)，鍍膜速率高，樣品溫升低，是典型的高速低溫濺射。磁控靶配有水冷夾層，水冷機(jī)能夠有效的帶走熱量，避免熱量在靶面聚集，使磁控鍍膜能長時(shí)間穩(wěn)定工作。除此之外本設(shè)備還配有偏壓電源，能夠在靶材和樣品臺(tái)間添加偏壓電場，增強(qiáng)離子的能量，提高成膜質(zhì)量和薄膜的附著力。整機(jī)均采用觸控屏控制，內(nèi)置一鍵式鍍膜程序，操作簡單易上手，是一款實(shí)驗(yàn)室制備薄膜的理想設(shè)備。
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名稱 |
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特點(diǎn) |
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技術(shù)參數(shù) |
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規(guī)格 |
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