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TN-MSP300S-2RF 雙靶射頻磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發(fā)的一款高性價比磁控濺射鍍膜設備，具有標準化、模塊化、可定制化的特點。可用于制備單層或多層陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。該雙靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比，其不僅應用廣泛，且具有體積小便于操作的優(yōu)點，是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備。
特點：
1. 磁控靶有1英寸2英寸可以選擇，客戶可以根據(jù)所鍍基板的大小自主選購；2. 兩個射頻電源，300w-1000W射頻電源可用于非金屬薄膜的制備，兩個靶可以滿足多層或者多次鍍膜的需要。
3. 高精度質量流量計，客戶若另有需求可以定制至多四路質量流量計的氣路，以滿足復雜的氣體環(huán)境構建需求；
4. 渦輪分子泵組，極限真空可達10E-5Pa，同時另有其他類型的分子泵可供選購。分子泵的氣路由多個電磁閥控制，可以實現(xiàn)在不關泵的情況下打開腔體取出樣品，大大提高了您的工作效率。
5.一體機工控電腦對系統(tǒng)進行控制，在電腦程序上可以實現(xiàn)真空泵組的控制、濺射電源的控制等絕大多數(shù)功能，可以進一步提高您的實驗效率。
技術參數(shù)：
型號
TN-MSP300S-2RF
供電電壓
AC220V，50Hz
整機功率
6KW
極限真空度
5*10-4Pa
樣品臺
尺寸：φ150mm
加熱溫度：500℃ max.；控溫精度：+-1℃
轉速：1-20rpm 可調節(jié)
磁控濺射頭
尺寸：2英寸，數(shù)量：2；冷卻方式：水冷 所需流速10L/min
水冷機：10L/min 循環(huán)水冷
真空腔體
尺寸：φ300mm*340mm；材料：不銹鋼
觀察窗：φ100mm；開啟方式：上頂開啟，便于更換靶材
氣體流量控制
1路，200sccm ，Ar
真空泵
分子泵組，抽速600L/S
濺射電源
兩臺 射頻電源 500-1000W 可選
膜厚儀
石英振動薄膜測厚儀一臺，分辨率0.10 ?
操作方式
一體機電腦操作
整機尺寸
1090mm X 900mm X 1250mm
整機重量
350kg
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